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Kosaka ET150臺階儀

KOSAKAET150基于WindowsXP系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS及平板顯示等。

KosakaET150臺階儀



株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創(chuàng)立，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商，主要有測定/自動/流體三大部門。

KOSAKAET150基于WindowsXP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應用。ET200能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。

ET150配備了各種型號探針，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準確的定位測試區(qū)域。
 


型號 ET150
最大樣品尺寸 φ160x48mm
樣品臺 尺寸 φ160
傾斜度 ±2°（XY手動）
承重 2Kg
檢出器 觸針力 10μN-500μN（1mg-50mg）
范圍 600μm（0.1nm分辨率）
驅(qū)動 直動式（差動變壓器）
觸針 R2μm頂角60°
X軸 最大測長 100mm
直線度 0.02μm/100mm
速度 0.005-20mm/s
重復性 ±5μm（定位）
Y軸 最大測長 25mm/手動
Z軸 最大測長 50mm
放大倍數(shù) 垂直 50-2000000
水平 1-10000
監(jiān)控系統(tǒng) 攝像裝置 1/3inchCCD
監(jiān)視裝置 視頻捕捉板
移動方法 手動
輔助功能 教學、機動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等
應用 成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度
重復性 1σ1nm
電源 AC90-240V50/60Hz300VA
外觀尺寸 W500xD440xH630mm120Kg（不含防震臺）





 

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